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证券之星音信，凭证天眼查APP数据露馅中微公司（688012）新赢得一项发明专利授权，专利名为“下电极组件和等离子体处置安装”，专利央求号为CN202110172207.7，授权日为2025年2月14日。

专利选录：一种下电极组件和等离子体处置安装，其中，所述下电极组件包括：基座，其内设有凹槽；静电夹盘，位于所述基座上，用于吸附待处置基片，其内设有第一气体通谈，所述第一气体通谈与凹槽对应；第一陶瓷件和第二陶瓷件，设于所述凹槽内，且二者互相相助变成第二气体通谈，所述第二气体通谈与第一气体通谈互延续通，用于向待处置基片的后面运输冷却气体，以铁心所述待处置基片的温度，其中，所述第二气体通谈为非直线。所述下电极组件成心于缩小静电夹盘发生焚烧放电。

本年以来中微公司新赢得专利授权29个，较旧年同时加多了222.22%。纠合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面参预了5.68亿元，同比增94.58%。

数据着手：天眼查APP

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